A monolithic three axis silicon capacitive accelerometer with micro g resolution

Junseok C., Najefi K., KÜLAH H.

TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664), Boston, MA, USA, Amerika Birleşik Devletleri, 8 - 12 Haziran 2003, ss.81-84, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/sensor.2003.1215258
  • Basıldığı Şehir: Boston, MA, USA
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.81-84
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır