DRIE Process Optimization to Achieve High Aspect Ratio for Capacitive MEMS Sensors

AYDEMİR A., AKIN T.

The 26th Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop, (MME’15), 20 - 23 Eylül 2015

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet