DRIE Process Optimization to Achieve High Aspect Ratio for Capacitive MEMS Sensors
AYDEMİR A., AKIN T.
The 26th Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop, (MME’15), 20 - 23 Eylül 2015, (Tam Metin Bildiri)
-
Yayın Türü:
Bildiri / Tam Metin Bildiri
-
Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli:
Evet