Veils-Free DRY (ICP) Etching of Gold Films with a Vertical Sharp Sidewall

Keskin S., Aydemir A., Akın T.

The 23rd Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop, (MME’12), Erfurt, Almanya, 9 - 12 Eylül 2012, ss.1-5

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Erfurt
  • Basıldığı Ülke: Almanya
  • Sayfa Sayıları: ss.1-5
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet