Veils-Free DRY (ICP) Etching of Gold Films with a Vertical Sharp Sidewall

---

Keskin S., Aydemir A., Akın T.

The 23rd Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop, (MME’12), Erfurt, Almanya, 9 - 12 Eylül 2012, ss.1-5, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Basıldığı Şehir: Erfurt
• Basıldığı Ülke: Almanya
• Sayfa Sayıları: ss.1-5
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet