Atıf İçin Kopyala
Mert Torunbalci M., Alper S. E., Akın T.
1st IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, ISISS 2014, Laguna Beach, CA, Amerika Birleşik Devletleri, 25 - 26 Şubat 2014
-
Yayın Türü:
Bildiri / Tam Metin Bildiri
-
Doi Numarası:
10.1109/isiss.2014.6782539
-
Basıldığı Şehir:
Laguna Beach, CA
-
Basıldığı Ülke:
Amerika Birleşik Devletleri
-
Anahtar Kelimeler:
Wafer level hermetic packaging, vertical feedthroughs, Au-Si eutectic bonding, MEMS inertial sensors
-
Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli:
Evet