A simple out of plane capacitive MEMS accelerometer utilizing lateral and vertical electrodes for differential sensing

Terzioglu Y., Kose T., Azgın K., Akın T.

2015 IEEE SENSORS, Busan, Güney Kore, 1 - 04 Kasım 2015, ss.1-3, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/icsens.2015.7370306
  • Basıldığı Şehir: Busan
  • Basıldığı Ülke: Güney Kore
  • Sayfa Sayıları: ss.1-3
  • Anahtar Kelimeler: differential, readout, closed loop, z axis, capacitive, accelerometer, comb fingers, hybrid
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet