A simple out of plane capacitive MEMS accelerometer utilizing lateral and vertical electrodes for differential sensing


Terzioglu Y., Kose T., AZGIN K. , AKIN T.

2015 IEEE SENSORS, Busan, Güney Kore, 1 - 04 Kasım 2015, ss.1-3 identifier identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/icsens.2015.7370306
  • Basıldığı Şehir: Busan
  • Basıldığı Ülke: Güney Kore
  • Sayfa Sayıları: ss.1-3