Atıf İçin Kopyala
Chae J., Kulah H. , Najafi K.
15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems MEMS 2002, Las Vegas, NV, Amerika Birleşik Devletleri, 20 - 24 Ocak 2002, ss.623-626
-
Cilt numarası:
-
Basıldığı Şehir:
Las Vegas, NV
-
Basıldığı Ülke:
Amerika Birleşik Devletleri
-
Sayfa Sayıları:
ss.623-626