A hybrid silicon-on-glass (SOG) lateral micro-accelerometer with CMOS readout circuitry

Chae J., Kulah H., Najafi K.

15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems MEMS 2002, Las Vegas, NV, Amerika Birleşik Devletleri, 20 - 24 Ocak 2002, ss.623-626, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası:
  • Basıldığı Şehir: Las Vegas, NV
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.623-626
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır