Implantation and sputtering of ge and si ions into SiO2 substrates using electric fields for acceleration and optimisation of laser-produced Ion streams used for modification of semiconductor materials

---

Atıf İçin Kopyala

Rosinski M., Wolowski J., YERCİ S. , Parys P., TURAN R. , Badziak J., ...Daha Fazla

Synthesis and Surface Engineering of Three-Dimensional Nanostructures, Boston, MA, Amerika Birleşik Devletleri, 26 - 30 Kasım 2007, cilt.1054, ss.38-43

• Cilt numarası: 1054
• Basıldığı Şehir: Boston, MA
• Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
• Sayfa Sayıları: ss.38-43