Implantation and sputtering of ge and si ions into SiO2 substrates using electric fields for acceleration and optimisation of laser-produced Ion streams used for modification of semiconductor materials

Rosinski M., Wolowski J., YERCİ S., Parys P., TURAN R., Badziak J., ...Daha Fazla

Synthesis and Surface Engineering of Three-Dimensional Nanostructures, Boston, MA, Amerika Birleşik Devletleri, 26 - 30 Kasım 2007, cilt.1054, ss.38-43, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 1054
  • Basıldığı Şehir: Boston, MA
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.38-43
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet