SILICON MICROMACHINING AND MICROFABRICATION TECHNIQUES FOR INTEGRATED SENSOR AND ACTUATOR SYSTEMS

AKIN T.

7th Mediterranean Electrotechnical Conference (MeleCON 94), Antalya, Türkiye, 12 - 14 Nisan 1994, ss.529-532 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Antalya
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.529-532