SILICON MICROMACHINING AND MICROFABRICATION TECHNIQUES FOR INTEGRATED SENSOR AND ACTUATOR SYSTEMS
7th Mediterranean Electrotechnical Conference (MeleCON 94), Antalya, Türkiye, 12 - 14 Nisan 1994, ss.529-532, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Basıldığı Şehir: Antalya
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Sayfa Sayıları: ss.529-532
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır