A wafer level vacuum packaging technologyfor MEMS based long-wave infrared sensors


Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2022

Öğrenci: GÜLŞAH DEMİRHAN AYDIN

Danışman: YUNUS EREN KALAY