MEMS tabanlı uzun dalgaboylu kızılötesi algılayıcılar için pul seviyesinde vakum paketleme teknolojisi


Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Mikro Ve Nanoteknoloji Anabilim Dalı, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2022

Tezin Dili: İngilizce

Öğrenci: GÜLŞAH DEMİRHAN

Danışman: Tayfun Akın