Development of new, simple, and robust wafer level hermetic packaging methods for MEMS sensors

---

Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Makina Mühendisliği Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2015

Öğrenci: MUSTAFA MERT TORUNBALCI

Eş Danışman: TAYFUN AKIN, MEHMET ALİ SAHİR ARIKAN