Al-Ge eutectic bonding for wafer-level vacuum packaging of mems devices


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2022

Öğrenci: BEKİR GÜREL DİMEZ

Danışman: YUNUS EREN KALAY