A single mass two-axis capacitive MEMS accelerometer with force rebalance

Köse T., Terzioʇlu Y., Azgln K., Akln T.

2nd IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, IEEE ISISS 2015, Hawaii, Amerika Birleşik Devletleri, 23 - 26 Mart 2015, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/isiss.2015.7102371
  • Basıldığı Şehir: Hawaii
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Anahtar Kelimeler: MEMS accelerometer, force rebalance
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet