Optimization Of Open-Tube Furnace Diffusion With Bbr3 Liquid Source For Industrial P-Type Boron Doping Process


ORHAN e., KÖKBUDAK g., SEMİZ E., ES F., TURAN R.

PVCON2018, Ankara, Türkiye, 4 - 06 Temmuz 2018

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet