An Integrated Thermopile Structure with High Responsivity and Detectivity in Any Standard CMOS Technology


Olgun Z., Akar O., KÜLAH H., AKIN T.

Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'97), 19 Haziran 1997

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet