MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi
Cankaya University Journal of Science and Engineering, cilt.9, ss.9-23, 2012 (Hakemli Dergi)
- Yayın Türü: Makale / Tam Makale
- Cilt numarası: 9
- Basım Tarihi: 2012
- Dergi Adı: Cankaya University Journal of Science and Engineering
- Sayfa Sayıları: ss.9-23
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet