MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi

---

YILDIRIM E. , AKIN T. , ARIKAN M. A. S.

Cankaya University Journal of Science and Engineering, vol.9, pp.9-23, 2012 (Other Refereed National Journals)

• Publication Type: Article / Article
• Volume: 9
• Publication Date: 2012
• Title of Journal : Cankaya University Journal of Science and Engineering
• Page Numbers: pp.9-23