MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi

YILDIRIM E., AKIN T., ARIKAN M. A. S.

Cankaya University Journal of Science and Engineering, vol.9, pp.9-23, 2012 (Peer-Reviewed Journal)

• Publication Type: Article / Article
• Volume: 9
• Publication Date: 2012
• Journal Name: Cankaya University Journal of Science and Engineering
• Page Numbers: pp.9-23
• Middle East Technical University Affiliated: Yes