MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi

YILDIRIM E. , AKIN T. , ARIKAN M. A. S.

Cankaya University Journal of Science and Engineering, cilt.9, ss.9-23, 2012 (Diğer Kurumların Hakemli Dergileri)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 9
  • Basım Tarihi: 2012
  • Dergi Adı: Cankaya University Journal of Science and Engineering
  • Sayfa Sayıları: ss.9-23