MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi


YILDIRIM E. , AKIN T. , ARIKAN M. A. S.

Cankaya University Journal of Science and Engineering, vol.9, pp.9-23, 2012 (Other Refereed National Journals)

  • Publication Type: Article / Article
  • Volume: 9
  • Publication Date: 2012
  • Title of Journal : Cankaya University Journal of Science and Engineering
  • Page Numbers: pp.9-23