MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi

---

Atıf İçin Kopyala

YILDIRIM E., AKIN T., ARIKAN M. A. S.

Cankaya University Journal of Science and Engineering, cilt.9, ss.9-23, 2012 (Hakemli Dergi)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 9
• Basım Tarihi: 2012
• Dergi Adı: Cankaya University Journal of Science and Engineering
• Sayfa Sayıları: ss.9-23
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet