RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge


PASİN Ö., AKIN T.

National URSI Symposium Turkey, Türkiye, 6 - 08 Eylül 2006, ss.386-388

  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.386-388