RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge

PASİN Ö., AKIN T.

National URSI Symposium Turkey, Türkiye, 6 - 08 Eylül 2006, ss.386-388, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.386-388
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet