A New Micro fabrication Process Simulator for Micro Electro Mechanical Systems
ULUSLARARASI MAKİNA TASARIMI VE İMALATI KONGRESİ (UMTİK), İstanbul, Türkiye, 3 - 05 Eylül 2008, cilt.2, ss.1043-1062, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Cilt numarası: 2
- Basıldığı Şehir: İstanbul
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Sayfa Sayıları: ss.1043-1062
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet