A New Micro fabrication Process Simulator for Micro Electro Mechanical Systems

YILDIRIM A., DÖLEN M.

ULUSLARARASI MAKİNA TASARIMI VE İMALATI KONGRESİ (UMTİK), İstanbul, Türkiye, 3 - 05 Eylül 2008, cilt.2, ss.1043-1062

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 2
  • Basıldığı Şehir: İstanbul
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.1043-1062
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet