A high performance automatic mode-matched MEMS gyroscope with an improved thermal stability of the scale factor


Sonmezoglu S., Alper S., AKIN T.

2013 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, Barcelona, İspanya, 16 - 20 Haziran 2013, ss.2519-2522 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/transducers.2013.6627318
  • Basıldığı Şehir: Barcelona
  • Basıldığı Ülke: İspanya
  • Sayfa Sayıları: ss.2519-2522