Mikro Elektro Mekanik Sistemler MEMS ve Silisyum Mikroisleme Teknikleri
Elektrik-Elektronik-Bilgisayar Muhendisligi 7. Ulusal Kongresi, Türkiye, 31 Ağustos - 06 Eylül 1997, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet