Mikro Elektro Mekanik Sistemler MEMS ve Silisyum Mikroisleme Teknikleri

AKIN T.

Elektrik-Elektronik-Bilgisayar Muhendisligi 7. Ulusal Kongresi, Türkiye, 31 Ağustos - 06 Eylül 1997

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet