An Alternative In-situ Fluorination Source for Atomic Layer Deposition

TUNÇKANAT M., DEMİRDOĞAN Ö., İMER M. B.

NANOTR-16, 16th Nanoscience and Nanotechnology Conference, Ankara, Türkiye, 5 - 08 Eylül 2022

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet