Resist Free Zeolite Patterning with Electron Beam Lithography Zeo Lithography

KİRDECİLER S. K., ÖZTÜRK S., AKATA KURÇ B.

18th Internatıonal Zeolite Conference, 19 - 24 Haziran 2016

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet