A New Micro fabrication Process Simulator for MEMS Designs

---

YILDIRIM A., DÖLEN M.

International Journal of Design Engineering, cilt.1, sa.4, ss.360-379, 2008 (Hakemli Dergi)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 1 Sayı: 4
• Basım Tarihi: 2008
• Doi Numarası: 10.1504/ijde.2008.024787
• Dergi Adı: International Journal of Design Engineering
• Derginin Tarandığı İndeksler: Other Indexes
• Sayfa Sayıları: ss.360-379
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet