Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems RF MEMS
National URSI Symposium Turkey, Antalya, Türkiye, 6 - 08 Eylül 2006, ss.11
- Yayın Türü: Bildiri
- Doi Numarası: 10.3390/s19040864
- Basıldığı Şehir: Antalya
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Sayfa Sayıları: ss.11
- Anahtar Kelimeler: RF-MEMS, switch, capacitor, laterally movable triple electrodes, low voltage, fast response
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet