THE INFLUENCE OF ANNEALING ON FLUORENE-TYPE THIN FILM PRODUCED BY BIPHENYL AND METHANE RF PLASMA SYSTEM


Mansuroglu D., Bilikmen S.

IEEE International Conference on Plasma Sciences (ICOPS), Belek, Türkiye, 24 - 28 Mayıs 2015 identifier

  • Basıldığı Şehir: Belek
  • Basıldığı Ülke: Türkiye