Optimization of Silicon Nitride (SiN X ) Anti-reflective coating (arc) and passivation layers using industrial plasma enhanced chemical vapor deposition (pecvd) for perc type solar cells


Creative Commons License

Kökbudak G., Orhan E., Es F., Semiz E., Turan R.

2018 International Conference on Photovoltaic Science and Technologies, PVCon 2018, Ankara, Türkiye, 4 - 06 Temmuz 2018 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/pvcon.2018.8523918
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet