Noise analysis and characterization of a sigma delta capacitive silicon microaccelerometer

Najefi K., Junseok C., KÜLAH H.

TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664), Boston, MA, USA, Amerika Birleşik Devletleri, 8 - 12 Haziran 2003, ss.92-95

  • Doi Numarası: 10.1109/sensor.2003.1215261
  • Basıldığı Şehir: Boston, MA, USA
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.92-95