Noise analysis and characterization of a sigma delta capacitive silicon microaccelerometer

---

Atıf İçin Kopyala

Najefi K., Junseok C., KÜLAH H.

TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664), Boston, MA, USA, Amerika Birleşik Devletleri, 8 - 12 Haziran 2003, ss.92-95

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Doi Numarası: 10.1109/sensor.2003.1215261
• Basıldığı Şehir: Boston, MA, USA
• Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
• Sayfa Sayıları: ss.92-95