A bulk-micromachined fully-differential MEMS accelerometer with interdigitated fingers

Aydin O., AKIN T.

11th IEEE SENSORS 2012 Conference, Taipei, Tayvan, 28 - 31 Ekim 2012, (Tam Metin Bildiri) identifier identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/icsens.2012.6411038
  • Basıldığı Şehir: Taipei
  • Basıldığı Ülke: Tayvan
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet