A bulk-micromachined fully-differential MEMS accelerometer with interdigitated fingers

---

Atıf İçin Kopyala

Aydin O., AKIN T.

11th IEEE SENSORS 2012 Conference, Taipei, Tayvan, 28 - 31 Ekim 2012

• Doi Numarası: 10.1109/icsens.2012.6411038
• Basıldığı Şehir: Taipei
• Basıldığı Ülke: Tayvan