Spin-on Dopant Based Fabrication Methodology of Integrated Photonic Devices

ŞAHİN A., AKDENİZ O., KOCAMAN S.

CLEO: Science and Innovations in CLEO 2024, CLEO: S and I 2024 - Part of Conference on Lasers and Electro-Optics, North Carolina, Amerika Birleşik Devletleri, 5 - 10 Mayıs 2024 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: North Carolina
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet

Özet

Sparse schedules associated with ion implantation impede the development of active optical devices. This study presents a process based on spin-on dopants that allows in-house fabrication of active devices.