Spin-on Dopant Based Fabrication Methodology of Integrated Photonic Devices
CLEO: Science and Innovations in CLEO 2024, CLEO: S and I 2024 - Part of Conference on Lasers and Electro-Optics, North Carolina, Amerika Birleşik Devletleri, 5 - 10 Mayıs 2024, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Basıldığı Şehir: North Carolina
- Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet
Özet
Sparse schedules associated with ion implantation impede the development of active optical devices. This study presents a process based on spin-on dopants that allows in-house fabrication of active devices.