MikroElektroMekanik Sistemler MEMS Genel bir Tanıtım


DÖLEN M., KAPLAN H.

Makina İmalat ve Tasarım Dergisi, vol.4, no.3, pp.173-185, 2002 (Peer-Reviewed Journal)

  • Publication Type: Article / Article
  • Volume: 4 Issue: 3
  • Publication Date: 2002
  • Journal Name: Makina İmalat ve Tasarım Dergisi
  • Journal Indexes: TR DİZİN (ULAKBİM)
  • Page Numbers: pp.173-185
  • Middle East Technical University Affiliated: Yes