MikroElektroMekanik Sistemler MEMS Genel bir Tanıtım


DÖLEN M., KAPLAN H.

Makina İmalat ve Tasarım Dergisi, cilt.4, sa.3, ss.173-185, 2002 (Hakemli Dergi)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 4 Sayı: 3
  • Basım Tarihi: 2002
  • Dergi Adı: Makina İmalat ve Tasarım Dergisi
  • Derginin Tarandığı İndeksler: TR DİZİN (ULAKBİM)
  • Sayfa Sayıları: ss.173-185
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet