An electrostatic parylene microvalve for controlling in plane flow

YILDIRIM E., Koyuncuoğlu A., KÜLAH H.

13. International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1 - 05 Kasım 2009 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet