MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi

Copy For Citation

YILDIRIM E., ARIKAN M. A. S., AKIN T.

Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering, vol.9, pp.9-23, 2012 (Non Peer-Reviewed Journal)

• Publication Type: Article / Article
• Volume: 9
• Publication Date: 2012
• Journal Name: Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering
• Page Numbers: pp.9-23
• Middle East Technical University Affiliated: Yes