MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi


YILDIRIM E., ARIKAN M. A. S. , AKIN T.

Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering, vol.9, pp.9-23, 2012 (National Non-Refereed Journal)

  • Publication Type: Article / Article
  • Volume: 9
  • Publication Date: 2012
  • Title of Journal : Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering
  • Page Numbers: pp.9-23