MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi

---

Atıf İçin Kopyala

YILDIRIM E., ARIKAN M. A. S., AKIN T.

Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering, cilt.9, ss.9-23, 2012 (Hakemsiz Dergi)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 9
• Basım Tarihi: 2012
• Dergi Adı: Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering
• Sayfa Sayıları: ss.9-23
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet