MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünleşik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçekleştirilmesi

YILDIRIM E., ARIKAN M. A. S., AKIN T.

Çankaya Üniversitesi Journal of Science and Engineering, cilt.9, ss.9-23, 2012 (Hakemsiz Dergi)