Experimental Heating Analysis of High Frequency RF CCP


ERÖZBEK GÜNGÖR Ü. , BİLİKMEN S. K. , AKBAR D.

Workshop on the Exploration of Low-Temperature Plasma Physics (WELTPP-18), Kerkrade, Hollanda, 3 - 04 Aralık 2015

  • Basıldığı Şehir: Kerkrade
  • Basıldığı Ülke: Hollanda