Experimental Heating Analysis of High Frequency RF CCP

ERÖZBEK GÜNGÖR Ü., BİLİKMEN S. K., AKBAR D.

Workshop on the Exploration of Low-Temperature Plasma Physics (WELTPP-18), Kerkrade, Hollanda, 3 - 04 Aralık 2015

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Kerkrade
  • Basıldığı Ülke: Hollanda
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet