A High Sensitivity Silicon On Glass Lateral Micro g Microaccelerometer

Chae J., KÜLAH H., Salian A., Najafi K.

Third Annual Micro/NanoTechnology Conference, 04 Haziran 2000, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır