A High Sensitivity Silicon On Glass Lateral Micro g Microaccelerometer

Chae J., KÜLAH H., Salian A., Najafi K.

Third Annual Micro/NanoTechnology Conference, 04 Haziran 2000

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır