Solid Phase Epitaxial Thickening of Phosphorus and Boron Doped Polycrystalline Silicon Seed Layer Formed by Aluminium Induced Crystallization Technique


TÜZÜN ÖZMEN Ö., KARAMAN M., SEDANİ S. H., TURAN R.

Turkish Physical Society 33rd International Physics Congress, 6 - 10 Eylül 2017

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet