Characterization and Enhancement of IR Optical and Tribological Properties of DLC Films Synthesized by RF-PECVD


TABUROĞLU V. E., YILDIZ İ., ÖZENBAŞ A. M.

2017 MRS Fall Meeting, 26 Kasım - 01 Aralık 2017

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet