Electron Heating Mode Transitions in Nitrogen (13.56 and 40.68) MHz RF-CCPs

ERÖZBEK GÜNGÖR Ü., BİLİKMEN S. K., AKBAR D.

Bulletin of the Americal Physical Society, , Editör, The American Physical Society , Honolulu, Hawaii, ss.21-22, 2015

  • Yayın Türü: Kitapta Bölüm / Araştırma Kitabı
  • Basım Tarihi: 2015
  • Yayınevi: The American Physical Society
  • Basıldığı Şehir: Honolulu, Hawaii
  • Sayfa Sayıları: ss.21-22
  • Editörler: , Editör
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet