Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Üretim Teknikleri
11. ULUSAL MAKİNA TEORİSİ SEMPOZYUMU, Ankara, Türkiye, 4 - 06 Eylül 2003, cilt.2, ss.677-688, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Cilt numarası: 2
- Basıldığı Şehir: Ankara
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Sayfa Sayıları: ss.677-688
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet