Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Üretim Teknikleri

KAPLAN H., DÖLEN M.

11. ULUSAL MAKİNA TEORİSİ SEMPOZYUMU, Ankara, Türkiye, 4 - 06 Eylül 2003, cilt.2, ss.677-688

  • Cilt numarası: 2
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.677-688