A fourth order unconstrained ∑Δ capacitive accelerometer

Sonmez U., KÜLAH H., AKIN T.

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, Beijing, Çin, 5 - 09 Haziran 2011, ss.707-710, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/transducers.2011.5969214
  • Basıldığı Şehir: Beijing
  • Basıldığı Ülke: Çin
  • Sayfa Sayıları: ss.707-710
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet