Endüstriyel ve Biyomedikal Uygulamaları için Silisyum Mikroişlenmiş Kapasitif Basınç Sensörü

AKAR O., AKIN T.

Elektrik-Elektronik-Bilgisayar Muhendisligi 7. Ulusal Kongresi, Turkey, 31 August - 06 September 1997, pp.83-86

  • Publication Type: Conference Paper / Full Text
  • Country: Turkey
  • Page Numbers: pp.83-86
  • Middle East Technical University Affiliated: Yes