A single-mass self-resonating closed-loop capacitive MEMS accelerometer

Kose T., Terzioglu Y., Azgın K., Akın T.

15th IEEE Sensors Conference, SENSORS 2016, Florida, Amerika Birleşik Devletleri, 30 Ekim - 02 Kasım 2016, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/icsens.2016.7808711
  • Basıldığı Şehir: Florida
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Anahtar Kelimeler: Capacitive MEMS accelerometer, resonating mass, self-resonance, capacitive sensing, force feedback, temperature compensation, closed-loop accelerometer
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet