A single-mass self-resonating closed-loop capacitive MEMS accelerometer

---

Atıf İçin Kopyala

Kose T., Terzioglu Y., Azgın K. , Akın T.

15th IEEE Sensors Conference, SENSORS 2016, Florida, Amerika Birleşik Devletleri, 30 Ekim - 02 Kasım 2016

• Doi Numarası: 10.1109/icsens.2016.7808711
• Basıldığı Şehir: Florida
• Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri