A single-mass self-resonating closed-loop capacitive MEMS accelerometer

Kose T., Terzioglu Y., Azgın K. , Akın T.

15th IEEE Sensors Conference, SENSORS 2016, Florida, Amerika Birleşik Devletleri, 30 Ekim - 02 Kasım 2016 identifier identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/icsens.2016.7808711
  • Basıldığı Şehir: Florida
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri