A Planar Gyroscope Using a Standard Surface Micromachining Process

Creative Commons License

Alper S. E., Akın T.

The 14th European Conf. on Solid-State Transducers (Eurosensors XIV), Kobenhavn, Danimarka, 27 - 30 Ağustos 2000, ss.387-390

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Kobenhavn
  • Basıldığı Ülke: Danimarka
  • Sayfa Sayıları: ss.387-390
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet