An in plane high sensitivity low noise micro g silicon accelerometer


Junseok C., KÜLAH H. , Najafi K.

The Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE, Kyoto, Japan, Japonya, 19 - 23 Ocak 2003, ss.466-469

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/memsys.2003.1189787
  • Basıldığı Şehir: Kyoto, Japan
  • Basıldığı Ülke: Japonya
  • Sayfa Sayıları: ss.466-469