An Ultimate Capacitive MEMS Vertical Accelerometer with Differential Sensing Capability
The 26th Micromechanics and Micro Systems Europe Workshop, (MME’15), 20 - 23 Eylül 2015, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet