A multi step electromechanical converter for micro g capacitive accelerometers

KÜLAH H. , Junseok C., Yazdi N., Najafi K.

2003 IEEE International Solid-State Circuits Conference, 2003. Digest of Technical Papers. ISSCC., San-Francisco, Kostarika, 13 Şubat 2003, ss.202-203

  • Doi Numarası: 10.1109/isscc.2003.1234267
  • Basıldığı Şehir: San-Francisco
  • Basıldığı Ülke: Kostarika
  • Sayfa Sayıları: ss.202-203