MODE TRANSITIONS IN LOW-PRESSURE NITROGEN RF-CCP AT DIFFERENT FREQUENCIES

ERÖZBEK GÜNGÖR Ü. , Bilikmen S. K.

IEEE International Conference on Plasma Sciences (ICOPS), Belek, Türkiye, 24 - 28 Mayıs 2015 identifier

  • Basıldığı Şehir: Belek
  • Basıldığı Ülke: Türkiye