A Single Mass Self Resonating Closed Loop Capacitive MEMS Accelerometer

KÖSE T., TERZİOĞLU Y., AZGIN K., AKIN T.

15th IEEE Sensors Conference, 30 Ekim - 01 Kasım 2016

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet