A Single Mass Self Resonating Closed Loop Capacitive MEMS Accelerometer

KÖSE T., TERZİOĞLU Y., AZGIN K., AKIN T.

15th IEEE Sensors Conference, 30 Ekim - 01 Kasım 2016, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet