A laterally resonating gravimetric sensor with uniform mass sensitivity and high linearity

Eroglu D., Bayraktar E., KÜLAH H.

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, Beijing, Çin, 5 - 09 Haziran 2011, ss.2255-2258 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası:
  • Doi Numarası: 10.1109/transducers.2011.5969332
  • Basıldığı Şehir: Beijing
  • Basıldığı Ülke: Çin
  • Sayfa Sayıları: ss.2255-2258