A laterally resonating gravimetric sensor with uniform mass sensitivity and high linearity

---

Atıf İçin Kopyala

Eroglu D., Bayraktar E., KÜLAH H.

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, Beijing, Çin, 5 - 09 Haziran 2011, ss.2255-2258

• Cilt numarası:
• Doi Numarası: 10.1109/transducers.2011.5969332
• Basıldığı Şehir: Beijing
• Basıldığı Ülke: Çin
• Sayfa Sayıları: ss.2255-2258