A symmetric surface micromachined gyroscope with decoupled oscillation modes


Creative Commons License

Alper S. E. , AKIN T.

Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Almanya, 10 - 14 Haziran 2001, ss.347-358 identifier identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1016/s0924-4247(01)00860-3
  • Basıldığı Şehir: Munich
  • Basıldığı Ülke: Almanya
  • Sayfa Sayıları: ss.347-358