A symmetric surface micromachined gyroscope with decoupled oscillation modes

---

Atıf İçin Kopyala

Alper S. E. , AKIN T.

Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Almanya, 10 - 14 Haziran 2001, ss.347-358

• Doi Numarası: 10.1016/s0924-4247(01)00860-3
• Basıldığı Şehir: Munich
• Basıldığı Ülke: Almanya
• Sayfa Sayıları: ss.347-358