A Symmetrical and Decoupled Microgyroscope with Electroforming Process on Insulating Substrate
European conference on solid-state transducers; Eurosensors XVI , Praha, Çek Cumhuriyeti, 15 - 18 Eylül 2002, ss.471-472, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Basıldığı Şehir: Praha
- Basıldığı Ülke: Çek Cumhuriyeti
- Sayfa Sayıları: ss.471-472
- Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet